I measc na n-uirlisí lárnacha a theastaíonn do chalabrú probe AFM tá samplaí caighdeánacha, córais ailínithe léasair, trealamh rialaithe comhshaoil, agus bogearraí calabraithe; i dteannta a chéile, cinntíonn na huirlisí seo cruinneas agus in-atáirgtheacht na dtomhas nanachscála.
I. Samplaí Caighdeánacha: Tagairtí Fisiceacha Inrianaithe a Sholáthar
Feidhmíonn samplaí caighdeánacha mar "rialóirí" calabrúcháin, a úsáidtear chun paraiméadair éagsúla an chórais AFM a fhíorú agus a cheartú.
1. Z-Samplaí Calabrúcháin Airde Ais
Sraith TGZ Z-Caighdeáin Treorach (m.sh., TGZ1): Gné-airde céime aithnid (20.0 ± 1.5 nm) agus úsáidtear iad chun gnóthachan agus líneacht an scanóir piezoelectric Z-ais a cheartú.
Si(111) Céimeanna Sileacain Aonair-Crystal Silicon: Bíodh dromchla adamhach réidh agat a bhfuil airde céime teoiriciúil 0.19 nm aige, rud a fhágann go bhfuil siad oiriúnach do chalabrú íogaireachta ais-ais ultra-ard{{-beachtais Z{-.
2. XY-Samplaí Calabrúcháin Scanóir Ais
Caighdeán Gráta Triantánach TGG1: Tá tréimhse 3 ± 0.05 μm aige agus úsáidtear é chun neamhlíneacht scanadh cliathánach, saobhadh uilleach, agus chun tréithriú barr a bhrath.
Eagar Piléir Chearnóg Taisce TGX1: Struchtúr tréimhsiúil 2D atá in ann toisí picteilín agus saobhadh scanóirí a cheartú go cuimsitheach sna treoracha X agus Y araon.
3. Samplaí Meastóireacht Cruth Leid
TGT{0}}D Caighdeán Calabrúcháin Leid: Tá trinsí doimhne agus imill ghéar ann, a úsáidtear chun an phróifíl rinn a athchruthú agus chun éifeachtaí conbhlóide íomhá a aithint de bharr maolú na rinn nó éillithe.
Caighdeáin Chéim Pirimideach Sraith SHS (50-100 nm): Úsáidtear iad chun taifeach cliathánach agus tionchar ballaí taobh an taiscéalaí a mheas.
Leid Úsáide: Ba cheart samplaí caighdeánacha a stóráil i dtimpeallacht thirim, saor ó dheannach; seachain teagmháil a dhéanamh leis an dromchla chun scratches nó éilliú a chosc.
II. Córas Léasair agus Fóta-bhraite: Comhshó Beacht Comharthaí Fórsa a Chumasú
AFM a bhraitheann sraonadh cantilever ag baint úsáide as prionsabal an machnaimh léasair; tá ailíniú beacht ag teastáil ón gcóras seo chun iontaofacht sonraí a chinntiú.
Astaitheoir Léasair: Astaíonn léas dírithe isteach ar an limistéar frithchaiteach den cantilever taiscéalaithe. Four-Quadrant Photodiode (PSPD): Faigheann sé solas frithchaite agus tiontaíonn sé mionsraonadh an cantilever ina chomharthaí leictreacha.
Meicníocht Ailínithe Léasair: Déanann sé suíomh an léasair a choigeartú de láimh nó go huathoibríoch chun a chinntiú go dtiteann an spota léasair laistigh den réigiún optamach ar chúl an cantilever.
Eochairmhéadrach: Ba cheart déine na gcomharthaí a choigeartú go os cionn 80 % den scála iomlán chun sáithiú comhartha nó cóimheas ró-íseal torainn (SNR) a sheachaint.
III. Uirlisí Rialaithe Comhshaoil: Cur isteach Seachtrach a Dhíchur
Tá AFManna thar a bheith íogair dá dtimpeallacht agus éilíonn siad trealamh speisialaithe chun coinníollacha oibriúcháin cobhsaí a chothabháil.
Tábla Leithlisithe Chreathadh: Aonraítear creathadh talún chun cobhsaíocht íomháithe leibhéil adamhach a chinntiú.
Seomra Teochta agus Taiseise Seasta (nó Córas HVAC Saotharlainne): Rialaíonn sé teocht laistigh de 20–25 céim agus taise laistigh de 40%–60% chun sruth teirmeach agus asaithe taise a íoslaghdú.
Imfhálú Sciath Leictreamaighnéadach: Cosc ar réimsí leictreamaighnéadacha seachtracha cur isteach ar fháil comhartha.
Córas Aonair{{0}Pointe Talaithe: Seachnaíonn sé tabhairt isteach torainn de bharr lúba talaimh.
Tabhair faoi deara: Is féidir le luaineacht teochta nach bhfuil ach 1 chéim aige sruth suntasach teirmeach a chothú, rud a chuirfeadh isteach ar chruinneas na scananna fadtréimhseacha.
IV. Uirlisí Cúnta agus Inchaite: Ag Tacú le hOibríocht agus Cothabháil
|
Ainm Uirlis |
Cur síos ar Fheidhm |
|
Tweezers (Neamh-mhaighnéadach) |
Úsáidte le haghaidh suiteáil probe; seachnaíonn sé teagmháil mhéar leis an cantilever, rud a sheachaint éilliú nó damáiste. |
|
Swabs Eatánóil / Lint-Éadaí In Aisce |
Úsáidtear é chun an chéim samplach agus na clampáin a ghlanadh, rud a choscann deannach ó chur isteach ar scanadh. |
|
Séid Nítrigine-as Gun |
Úsáidtear é chun ábhar cáithníneach a bhaint as an dromchla samplach, rud a choscann scratches go barr an taiscéalaithe. |
|
Coimeádán Stórála (Folamh nó Triomadán) |
Úsáidtear é chun samplaí caighdeánacha agus tóireadóirí breise a stóráil, chun ocsaídiú agus éilliú a chosc. |
V. Bogearraí Calabrúcháin agus Algartam: Ríomh Paraiméadar agus Cúiteamh Earráidí
Tá bogearraí speisialaithe feistithe le AFManna nua-aimseartha chun an próiseas calabrúcháin a uathoibriú:
Modúl Calabrúcháin Íogaireachta: Ríomhtar an Íogaireacht Luamhán Inbhéarta Optúil (InvOLS) bunaithe ar chuair an achair-fhórsa.
Algartam Ceartúcháin Neamhlíneachta an Scanóir: Gineann -tábla ceartúcháin mapála picteilín do na haiseanna X agus Y bunaithe ar íomhánna de shamplaí caighdeánacha calabraithe.
Algartam Deconvolution: Athchruthaítear cruth bharr an taiscéalaithe ón íomhá a fuarthas chun an íomhá a leathnú a cheartú mar gheall ar chaitheamh barr (bunting). Feidhm Cúitimh Drift: Rianú fíor-ama ar athruithe ar staid na samplaí chun cobhsaíocht fhadtéarmach íomháithe a fheabhsú.
Comhlíonadh Caighdeáin: Molaimid tagairt a dhéanamh do ASTM E2546-18, "Treoir Chaighdeánach maidir le Calabrú agus Oibriú Mhicreascóip Fórsa Adamhach," le haghaidh calabrú córasach.
