Ní mór an teocht shintéirithe tar éis athlíonadh ocsaíd mhaignéisiam a rialú go beacht laistigh den raon 800-1000 céim . Úsáidtear rialú teochta deighilte agus cosaint atmaisféar támh chun athchriostalú leordhóthanach ar na gráinní a chinntiú. Is fachtóir lárnach é rialú teochta a chinneann dlús agus cobhsaíocht fhadtéarmach an chiseal inslithe.
1. Príomhpharaiméadair le haghaidh Rialú Teochta Sintéirithe
|
Céim |
Raon Teochta |
Riachtanais Rialaithe |
|
Céim Téamh |
Teocht an tseomra → 800-1000 céim |
Ráta téimh Níos lú ná nó cothrom le 5 céim / nóim, chun turraing teirmeach a chosc is cúis le dífhoirmiú nó scoilteadh an fheadáin miotail. |
|
Reáchtáil Céim |
800-1000 céim |
Coinnigh teocht tairiseach ar feadh 1-2 uair an chloig chun athchriostalú iomlán de ghráin ocsaíd mhaignéisiam a chur chun cinn. |
|
Céim Fuarú |
1000 céim →<200℃ |
Fuarú nádúrtha leis an bhfoirnéis; tá cosc dian ar fhuarú aer éigean nó ar fhuaraithe uisce chun scoilteadh strus teirmeach a sheachaint. |
Bain úsáid as córas rialaithe teochta cliste PID i gcomhar le teirmeachúplaí calabraithe chun luaineacht teochta Níos lú ná nó cothrom le ±10 céim a chinntiú.
2. Rialú Atmaisféar
Gás Cosanta: Úsáidtear nítrigin ard-íonachta (Níos mó ná nó cothrom le 99.99%) le linn an phróisis, a bhfuil cion ocsaigine ann<100ppm.
Cuspóir: Chun ocsaíd mhaignéisiam a chosc ó imoibriú le ocsaigin agus taise ag teochtaí arda chun neamhíonachtaí a chuireann isteach ar fheidhmíocht inslithe a ghiniúint.
Ráta Sreabhadh Gáis: Coinnigh brú dearfach taobh istigh den fhoirnéis, agus an ráta sreafa á rialú ag 5–10L/nóiméad chun atmaisféar aonfhoirmeach a chinntiú.
Is féidir carbónú agus ocsaídiú a bheith mar thoradh ar aer nó atmaisféar atá faoi bhun an chaighdeáin, rud a fhágann briseadh síos voltais a sheasamh.
3. Monatóireacht Teochta agus Inrianaitheacht Sonraí
Ní mór cuar rialaithe teirmeach iomlán (graf teocht-ama) a thaifeadadh do gach baisc shintéirithe. Ba cheart sonraí a chur i gcartlann ar feadh 6 mhí ar a laghad le haghaidh inrianaitheachta cáilíochta.
Moltar trealamh shintéirithe a roghnú le feidhmeanna taifeadta agus aláraim uathoibríoch chun comhsheasmhacht an phróisis a fheabhsú.
Léiríonn cleachtas go mbeidh teocht faoi bhun 800 céim nó amanna teasa a shealbhú ar feadh níos lú ná 1 uair an chloig ina chúis le laghdú ar fhriotaíocht inslithe de níos mó ná 30%, ag méadú go mór rioscaí oibriúcháin.
